Elektrische Prüf- und Messtechnik · LCR-Messgeräte

Impedanzanalysator für piezoelektrische und Ultraschall-Bauteile

Impedanzanalysatoren für den Labortisch von 20 Hz bis 5 MHz für piezoelektrische Keramiken, Kristalle und Ultraschallwandler, mit Vierleiter-Kelvin-Anschlüssen, Frequenzdurchstimmung und dreistufigem Komparator.

ZX70A-200K (4 Modelle) ·

Wichtige Kenndaten

Frequenzbereich
20 Hz bis 200 kHz, 500 kHz, 1 MHz, 2 MHz oder 5 MHz, je nach Modell
Grundgenauigkeit
0,05 % bei den Modellen mit 200 kHz und 500 kHz; 0,1 % bei den Modellen mit 1 MHz, 2 MHz und 5 MHz
Frequenzauflösung
1 mHz
Impedanzbereich
0,01 mΩ bis 99,99 MΩ
Phasenauflösung
0,01°
Scanparameter
R-X, Z-Phase, Y-Phase und G-B
Scanzeit
4 s für eine Durchstimmung mit 400 Punkten
Komparator
Drei Stufen: Gut, über der oberen Grenze, unter der unteren Grenze
Speicher
50 Einstellungen intern und 500 auf einem USB-Stick
Gehäuse
310 × 110 × 315 mm bei 5,5 kg oder 400 × 132 × 300 mm bei 8,5 kg

Ein piezoelektrisches Bauteil ist dadurch spezifiziert, wo es resoniert, und nicht durch einen Wert bei einer Frequenz. Diese eine Tatsache bestimmt, was ein Analysator leisten muss: ein Band durchstimmen, das Ergebnis auftragen und Resonanz und Antiresonanz aus der Kurve ablesen lassen. Alles andere am Gerät dient dieser Aufgabe.

Produktübersicht

Die Familie deckt 20 Hz bis 5 MHz mit fünf Modellen in zwei Gehäusegrößen ab. Die beiden niedrigeren Frequenzmodelle erreichen 0,05 % Grundgenauigkeit, die drei höheren sind mit 0,1 % angegeben. Alle verwenden dieselben Vierleiter-Kelvin-Klemmen, dieselbe 4,3-Zoll-Farbanzeige und dieselben Durchstimmfunktionen.

Die Frontblende trägt die Anzeige links mit einer Spalte aus Softkeys daneben, rechts das Tastenfeld und die Regler sowie entlang der Unterkante die vier Prüfklemmen. Die niedrigeren Frequenzmodelle sind 310 mm breit bei 5,5 kg; die Modelle mit 2 MHz und 5 MHz wechseln auf ein 400-mm-Gehäuse bei 8,5 kg. Die Rückseite trägt die Handler-, seriellen und USB-Anschlüsse.

So arbeitet der Impedanzanalysator

Das Gerät führt einen Treiberstrom durch das Bauteil und tastet die Spannung darüber auf einem getrennten Leitungspaar ab. Bei jeder Frequenz der Durchstimmung zerlegt es die beiden Signale in einen gleichphasigen und einen um neunzig Grad versetzten Anteil, woraus Impedanz und Phase unmittelbar folgen. Weil Strom- und Spannungselektroden getrennt sind, geht der Widerstand der Leitungen und des Kontakts nicht in das Ergebnis ein - das macht eine Ablesung von wenigen Ohm glaubwürdig.

Die Durchstimmung schreitet über ein Band und speichert das Ergebnis an jedem Punkt, dann trägt sie die Impedanz über der Frequenz auf. Bei einem piezoelektrischen Bauteil zeigt die Kurve ein Minimum bei der Resonanz und ein Maximum bei der Antiresonanz; die Frequenzen dieser beiden Punkte und die Impedanz an jedem sind es, was die Zeichnung des Bauteils üblicherweise vorgibt.

Die Scanparameter legen fest, wie dieselben Daten dargestellt werden: als Widerstand und Reaktanz, als Impedanz und Phase, als Admittanz und Phase oder als Konduktanz und Suszeptanz. Eine Durchstimmung mit 400 Punkten dauert etwa 4 s, sodass ein Bauteil in der Zeit geprüft ist, die das Einlegen des nächsten braucht.

Auswahl des passenden Impedanzanalysators

Die erste Frage ist das Frequenzband. Ein Bauteil, das unterhalb von 200 kHz resoniert, ist vom kleinsten Modell abgedeckt; eines bei 1 MHz braucht das 1-MHz-Modell; ein Wandler für 2 oder 5 MHz braucht das größere Gehäuse. Über das Band hinaus zu kaufen, das das Bauteil tatsächlich nutzt, kostet Geld und sonst nichts.

Die zweite ist die Genauigkeit. Die Modelle mit 0,05 % decken die unteren Bänder ab, die mit 0,1 % die oberen - ein Unterschied, der bei einer engen Grenze zählt, nicht aber wenn die Toleranz des Bauteils einige Prozent beträgt, was bei piezoelektrischen Keramiken üblich ist.

Die dritte ist der Kontakt. Eine Scheibe, ein Stapel und ein Langevin-Wandler brauchen drei verschiedene Aufnahmen, und die Aufnahme muss das Teil bei wiederholbarem Druck und wiederholbarer Lage halten. Die Klemmkraft verändert die Resonanz eines Piezostapels; die Aufnahme ist daher Teil der Messung und kein Zubehör.

Die vierte ist, was mit dem Ergebnis geschieht. Der dreistufige Komparator und die Leuchten passen zu einem Arbeitsplatz, an dem ein Bediener Teile einlegt; Handler- und serielle Anschlüsse passen zu einer Linie, die automatisch sortiert; die gespeicherten Einstellungen passen zu einem Platz, der das Produkt mehrmals pro Schicht wechselt.

Messgrenzen und Auswahlhinweise

Das Gerät misst die Impedanz bei kleinem Signal. Es treibt das Bauteil nicht mit seiner Arbeitsleistung, sodass das Großsignalverhalten eines Wandlers - die Verschiebung der Resonanz mit dem Ansteuerpegel, die Erwärmung, der Hub - außerhalb dessen liegt, was eine Durchstimmung bei wenigen Volt zeigen kann.

Am oberen Ende des Frequenzbereichs dominiert die Aufnahme. Bei 5 MHz sind wenige Zentimeter Leitung eine bedeutende Impedanz, und ihre Lage verändert die Ablesung; eine richtige Prüfaufnahme mit definierter Geometrie ist daher nicht optional. Dasselbe gilt für den Anpressdruck an einem Stapel: eine andere Klemmkraft ergibt eine andere Resonanz.

Die Grundgenauigkeit ist eine Überschrift und keine Zusage über das ganze Band. Die Genauigkeit variiert mit Impedanz und Frequenz, und das Material verweist auf eine gesonderte Genauigkeitstabelle, die es nicht enthält. Wird eine Messung als Grenze verwendet, ist die Genauigkeit bei genau dieser Impedanz und Frequenz zu bestimmen und nicht aus der Grundangabe abzuleiten.

Schließlich beschreibt eine Durchstimmung ein Bauteil zu einem Zeitpunkt und bei einer Temperatur. Piezoelektrische Keramiken verschieben sich mit der Temperatur, und ein kalt gemessenes Teil stimmt nicht mit demselben Teil überein, nachdem es gelaufen ist. Eine Kurve mit einer unter gleichen Bedingungen aufgenommenen Referenzkurve zu vergleichen ist nützlicher als einzelne Zahlen zu vergleichen.

Merkmale

  • Vierleiter-Kelvin-Anschlüsse mit getrennten Strom- und Spannungselektroden, die Leitungs- und Kontaktwiderstand aus einer Niederohmablesung heraushalten
  • Eine Frequenzdurchstimmung mit Impedanz über der Frequenz, mit der Resonanz und Antiresonanz eines piezoelektrischen Bauteils geortet werden
  • Scanparameter über R-X, Z-Phase, Y-Phase und G-B, sodass dieselbe Durchstimmung als Impedanz, Admittanz oder Phasenwinkel gelesen werden kann
  • 4 s für eine Durchstimmung mit 400 Punkten, schnell genug um jedes Bauteil einer Produktionslinie zu prüfen statt nur einige zu beproben
  • Dreistufiger Vergleich mit den Entscheidungen Gut, über der Grenze und unter der Grenze, sowie grünen und roten Leuchten, die ein Bediener über den Arbeitsplatz hinweg sieht
  • 550 gespeicherte Einstellungen, 50 intern und 500 auf einem USB-Stick, sodass ein Produktwechsel ein Dateiaufruf ist und keine Neueingabe der Parameter
  • Tastatursperre und Netzausfallschutz, sodass eine Einstellung nicht versehentlich verändert wird und eine Versorgungsunterbrechung übersteht
  • RS232C, USB-Device und HANDLER serienmäßig, mit GPIB als Option

Technische Daten

Jeder der folgenden Werte stammt aus der Quelldokumentation. Ist ein Parameter im verfügbaren Material nicht angegeben, wird er als Angabe erforderlich gekennzeichnet statt geschätzt.

Messung
ScanparameterR-X, Z-Phase, Y-Phase und G-BStandard
Impedanzbereich0,01 mΩ bis 99,99 MΩStandard
Grundgenauigkeit, ZX70A-200K und ZX70A-500K0,05 %Standard
Grundgenauigkeit, ZX80A-1M, ZX80A-2M und ZX80A-5M0,1 %Standard
GenauigkeitsbedingungDas Material gibt an, dass der Wert von einer gesonderten Genauigkeitstabelle abhängt, die es nicht enthältAngabe erforderlich
Frequenzauflösung1 mHzStandard
Phasenauflösung0,01°Standard
AnschlussVierleiter-Kelvin, mit getrennten Strom- und SpannungselektrodenStandard
Frequenz und Scan
Frequenz, ZX70A-200K20 Hz bis 200 kHzStandard
Frequenz, ZX70A-500K20 Hz bis 500 kHzStandard
Frequenz, ZX80A-1M20 Hz bis 1 MHzStandard
Frequenz, ZX80A-2M20 Hz bis 2 MHzStandard
Frequenz, ZX80A-5M20 Hz bis 5 MHzStandard
Scanzeit4 s pro Bauteil, für eine Durchstimmung mit 400 PunktenStandard
FrequenzganganzeigeImpedanz über der Frequenz aufgetragen, mit Auswertung der dargestellten KurveStandard
Anzeige, Sortierung und Speicher
Anzeige4,3-Zoll-Farb-LCD, mehrere Parameter gleichzeitig dargestelltStandard
KomparatorGut, über der oberen Grenze oder unter der unteren GrenzeStandard
AlarmGut, Schlecht oder aus, mit grüner Leuchte für Gut und roter Leuchte für SchlechtStandard
Interner Speicher50 EinstellungenStandard
USB-Speicher500 Einstellungen, mit DateiverwaltungStandard
TastatursperreVorhandenStandard
NetzausfallschutzEinstellungen bleiben bei einer Unterbrechung der Versorgung erhaltenStandard
Schnittstelle, Versorgung und Mechanik
Serienmäßige SchnittstellenRS232C, USB-Device und HANDLERStandard
Optionale SchnittstelleGPIBOptional
Netzversorgung100 bis 120 V AC oder 198 bis 242 V AC, 46 bis 64 Hz, über 85 VAStandard
Betriebstemperatur0 °C bis 40 °CStandard
Betriebsfeuchte75 % RH oder darunterStandard
Abmessungen, Modelle mit 200 kHz, 500 kHz und 1 MHz310 mm × 110 mm × 315 mm, Breite mal Höhe mal TiefeStandard
Abmessungen, Modelle mit 2 MHz und 5 MHz400 mm × 132 mm × 300 mm, Breite mal Höhe mal TiefeStandard
Gewicht, Modelle mit 200 kHz, 500 kHz und 1 MHz5,5 kgStandard
Gewicht, Modelle mit 2 MHz und 5 MHz8,5 kgStandard
Abmessungen auf den Modellkarten400 mm × 132 mm × 300 mm für alle Modelle, was der obigen Tabelle widersprichtAngabe erforderlich

Verfügbare Modelle

Auswahltabelle
Modell Ausführung Wichtige Messbereiche Verfügbarkeit
ZX70A-200K Impedanzanalysator, 310 × 110 × 315 mm, 5,5 kg 20 Hz bis 200 kHz; 0,05 % Grundgenauigkeit; 0,01 mΩ bis 99,99 MΩ Das Modell mit der niedrigsten Frequenz der Familie
ZX70A-500K Impedanzanalysator, 310 × 110 × 315 mm, 5,5 kg 20 Hz bis 500 kHz; 0,05 % Grundgenauigkeit; 0,01 mΩ bis 99,99 MΩ Erweitert den Frequenzbereich, ohne die 0,05 % zu verlieren
ZX80A-1M Impedanzanalysator, 310 × 110 × 315 mm, 5,5 kg 20 Hz bis 1 MHz; 0,1 % Grundgenauigkeit In der Schnellauswahltabelle als ZX70A-1M bezeichnet, siehe Hinweis zur Modellbenennung
ZX80A-2M Impedanzanalysator, 400 × 132 × 300 mm, 8,5 kg 20 Hz bis 2 MHz; 0,1 % Grundgenauigkeit Hier beginnt das größere Gehäuse
ZX80A-5M Impedanzanalysator, 400 × 132 × 300 mm, 8,5 kg 20 Hz bis 5 MHz; 0,1 % Grundgenauigkeit Die höchste Frequenz dieser Gruppe

Anpassung

  • GPIB-Schnittstelle, als Option eingebaut
  • Prüfaufnahmen für einen bestimmten Wandler, eine Scheibe oder einen Kristallhalter
  • Ein Handler-Anschluss für eine Linie, die Bauteile automatisch sortiert

Zertifizierung und Konformität

Zertifizierungsunterlagen noch nicht geliefert

Zertifizierungen werden erst veröffentlicht, wenn eine Kopie des Zertifikats vorgelegt werden kann; dieser Abschnitt ist deshalb bewusst leer und nicht mit angenommenen Zulassungen gefüllt. Sagen Sie uns, welche Zulassungen Ihre Anwendung erfordert, und wir bestätigen, was für dieses Gerät verfügbar ist.

Noch zu bestätigende Parameter

Die folgenden Angaben sind für eine vollständige Spezifikation erforderlich, aber in der uns vorliegenden Dokumentation nicht genannt. Sie werden aufgeführt statt geschätzt:

  • Die segmentierte Genauigkeitstabelle, auf die das Material verweist, die es aber nicht enthält, ohne die sich die Angaben 0,05 % und 0,1 % keinem Bereich und keiner Frequenz zuordnen lassen
  • Die richtige Modellbezeichnung für das 1-MHz-Modell, in der Parametertabelle als ZX80A-1M und in der Schnellauswahltabelle als ZX70A-1M abgedruckt
  • Die richtigen Abmessungen für ZX70A-200K und ZX70A-500K, in der Parametertabelle mit 310 × 110 × 315 mm und auf den Modellkarten mit 400 × 132 × 300 mm angegeben
  • Der Ansteuerpegel und die Ausgangsimpedanz des Prüfsignals, die das Material für diese Gruppe nicht nennt
  • Die maximale Spannung, die von einer externen Quelle an die Prüfklemmen angelegt werden darf
  • Verfügbarkeit eines Kalibrierscheins und die zugrunde liegende Norm
  • Garantiezeit und deren Bedingungen
  • Die mit dem Gerät gelieferte Aufnahme, die das Material nicht aufführt

Häufige Fragen

Warum braucht ein piezoelektrisches Bauteil eine Frequenzdurchstimmung statt einer einzelnen Ablesung?

Weil die maßgeblichen Größen dadurch definiert sind, wo das Bauteil resoniert. Eine piezoelektrische Scheibe hat eine Resonanz und eine Antiresonanz, und der Abstand zwischen beiden zusammen mit der Impedanz an jedem Punkt beschreibt, wie sich das Teil als Wandler verhält. Eine Einzelfrequenzablesung bei 1 kHz sagt über beides fast nichts. Die Durchstimmung trägt die Impedanz über der Frequenz auf, sodass diese beiden Punkte aus der Kurve abgelesen und mit der Zeichnung verglichen werden können.

Was ändert der Vierleiteranschluss in der Praxis?

Er entfernt den Widerstand der Leitungen und des Kontakts aus dem Ergebnis. Bei einem Zweileiteranschluss misst das Gerät das Bauteil plus die Leitungen plus den Kontakt, und bei niedriger Impedanz können die letzten beiden der größere Teil der Ablesung sein. Ein Piezobauteil nahe der Resonanz kann auf wenige Ohm fallen, und genau dort zählt dieser Fehler; die getrennten Strom- und Spannungselektroden machen die Ablesung dort aussagekräftig.

Was ist vor einem Angebot zu klären?

Das Frequenzband, über das das Bauteil charakterisiert werden muss, weil es das Modell festlegt; die Aufnahme, die das Teil hält, und wie es kontaktiert wird; ob die Ergebnisse im Gerät gegen Grenzen verglichen oder an einen Rechner ausgegeben werden; und ob GPIB für ein bestehendes Prüfsystem gebraucht wird.

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Prüffrequenz
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Frequenzauflösung
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Grundgenauigkeit
0,05 %
Prüfpegel
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Grundgenauigkeit
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Induktivitätsbereich
0,01 nH bis 9999,99 H

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