Pruebas y medición eléctrica · Equipos de prueba eléctrica

Medidor de resistencia laminar y resistividad de cuatro puntas

Medidores de cuatro puntas que leen resistencia laminar, resistividad y conductividad en obleas, películas, recubrimientos y muestras macizas, con espesor preajustado y exactitud de resistencia laminar del 3 %.

SJ2663 (4 modelos) ·

Especificaciones clave

Magnitudes medidas
Resistencia laminar, resistividad, conductividad y resistencia simple, mostradas a la vez
Geometría de las puntas
Cuatro puntas alineadas, con separación de 1 mm, 2 mm o 4 mm según el cabezal montado
Rango de resistencia
De 100 µΩ a 100 kΩ en el modelo compacto; de 1 µΩ a 100 MΩ en el más amplio
Exactitud de resistencia laminar
3 % en tres modelos; 4 % en el modelo de baja resistencia; 5 % por encima de 2 MΩ
Exactitud de resistencia
0,05 % en el centro del rango; 0,2 % en el extremo inferior; hasta 0,5 % en el superior
Corriente de ensayo
≤10 mA, ≤100 mA o ≤500 mA según el modelo
Corrección de espesor
El espesor de la muestra se introduce una vez, de modo que la resistividad se calcula sin tabla de consulta
Modo de medición dual
Incorporado en tres modelos, para corregir la deriva de las puntas y los efectos de borde
Interfaces
HANDLER, RS232, RS485, USB host y USB device

Una lámina de película conductora no tiene una longitud ni una anchura que importen. Lo que tiene es una resistencia por cuadrado, y esa es la cifra que controla realmente una línea de recubrimiento, una fábrica de obleas o un proceso fotovoltaico. Medirla exige cuatro puntos sobre la superficie y no dos pinzas en los extremos.

Vista general del producto

Son instrumentos de banco para resistencia laminar, resistividad y conductividad, con un modo de resistencia simple para piezas macizas. Cada uno hace pasar una corriente por las dos puntas exteriores de un cabezal alineado de cuatro puntas y lee la tensión entre las dos interiores.

Cuatro modelos cubren la gama. El compacto lee de 100 µΩ a 100 kΩ en una pantalla de 4,3 pulgadas. Los tres mayores van de 10 µΩ a 1 MΩ, de 1 µΩ a 20 kΩ y de 1 µΩ a 100 MΩ, con pantallas de 7 pulgadas y un modo de medición dual que corrige la deriva de las puntas y los efectos de borde. La exactitud de resistencia laminar se declara por separado de la exactitud de resistencia, en 3 % o 4 %, porque depende de la geometría además de la electrónica.

Los cuatro aceptan los mismos cabezales y el mismo soporte, miden la temperatura junto al resultado eléctrico y llevan HANDLER, RS232, RS485 y USB host de serie.

Cómo funciona el medidor de cuatro puntas

Se presionan cuatro puntas sobre la superficie en línea y equidistantes. Las dos exteriores llevan una corriente conocida; las dos interiores miden la tensión que esa corriente produce entre ellas. Como las puntas de tensión no consumen prácticamente corriente, la resistencia de contacto bajo esas dos puntas no entra en la lectura, y la de las propias puntas tampoco.

Para una capa delgada en comparación con la separación entre puntas, la resistencia laminar es proporcional a la tensión medida dividida por la corriente, con una constante fijada por la geometría. El instrumento aplica esa constante, de modo que el visualizador lee en ohmios por cuadrado. Cuando la capa no es delgada frente a la separación, o la muestra es pequeña, se aplica un factor de corrección, y ahí es donde el modo de medición dual y la separación correcta entre puntas se ganan su lugar.

La resistividad sale de la resistencia laminar multiplicada por el espesor. El espesor se introduce antes del ensayo, y por eso el instrumento puede mostrar la resistividad directamente en lugar de pedir al operador que multiplique después. La conductividad es su recíproco, expresado en siemens por unidad de longitud.

Cómo elegir el medidor de cuatro puntas adecuado

Empiece por la ventana de resistencia laminar. El vidrio recubierto y las películas metálicas delgadas se sitúan en los ohmios por cuadrado bajos y encajan con el modelo de baja resistencia; las capas semiconductoras y las películas poco dopadas están más arriba y necesitan el modelo de rango amplio; un laboratorio que ve ambas cosas necesita el amplio y debe aceptar su exactitud más gruesa en los extremos.

Después, el material, porque fija el cabezal. Carburo de tungsteno a 1 mm para obleas duras, cobre berilio a 2 mm para metales y paneles fotovoltaicos, 4 mm para muestras mayores, y una punta de goma conductora para películas que una aguja perforaría. El cabezal, y no el instrumento, decide si la muestra sobrevive a la medición.

Después, el tamaño de la muestra frente a la separación entre puntas. Una probeta pequeña en relación con la separación necesita una corrección, y los modelos con modo de medición dual la manejan mejor. Un panel de 200 mm no la necesita.

Después, el rango de espesor. Una lectura de resistividad es tan buena como el espesor introducido, y una muestra cuyo espesor varía en su superficie dará una resistividad que varía por una razón que el instrumento no puede ver.

Por último, la salida. Un laboratorio necesita el visualizador y el registro por USB; una línea de recubrimiento necesita el handler o el enlace serie y un comparador con límites por producto.

Limitaciones de medición y criterios de selección

La medición supone una capa homogénea. Un recubrimiento con una piel resistiva sobre una base conductora, o una oblea con un perfil de implantación, no es una sola lámina, y la lectura de cuatro puntas es un promedio de lo que muestrea el camino de corriente, ponderado hacia la superficie.

La presión de las puntas importa. Con demasiado poca, el contacto es inestable; con demasiada, se perfora una película blanda o se agrieta una oblea delgada. El material no da ninguna cifra de presión, y la presión correcta depende de la punta y de la muestra, así que tiene que establecerse sobre el propio material.

La lectura es en la superficie, bajo las puntas. Una muestra que acaba de manipularse, limpiarse o recubrirse puede seguir cambiando; la indicación de temperatura y humedad está ahí para hacerlo visible, y la compensación de temperatura solo corrige una cifra, no la deriva.

Los efectos de borde son la mayor fuente de error en muestras pequeñas. La dispersión de corriente cerca de un borde reduce la resistencia laminar aparente, y la corrección depende de la distancia entre las puntas y el borde. Un utillaje que sitúe las puntas a una distancia repetible del borde vale más que un instrumento mejor.

Por último, este no es un instrumento de cartografía. Mide donde se colocan las puntas; una oblea o un panel tiene una distribución, y caracterizarla exige una plataforma que mueva la muestra entre lecturas.

Características

  • La resistencia laminar y la resistividad se calculan dentro del instrumento a partir de la geometría de las puntas y de un espesor introducido, de modo que no hay que llevar ninguna tabla de corrección al banco
  • Cuatro cabezales cubren obleas duras, películas metálicas, paneles fotovoltaicos y recubrimientos frágiles, incluida una punta de goma conductora para capas que una aguja de acero perforaría
  • Un modo de medición eléctrica dual en tres modelos invierte el camino de la corriente para corregir la deriva de las puntas y los efectos de borde, que es lo que hace repetible una lectura en una muestra pequeña
  • Exactitud de resistencia laminar del 3 % en tres modelos, declarada por separado de la exactitud de resistencia del 0,05 % para que no se confundan
  • La temperatura y la humedad se miden junto al resultado eléctrico, y la compensación de temperatura se aplica a materiales cuya resistividad se mueve con la sala
  • Un comparador de clasificación de tres niveles, para que las obleas o los paneles recubiertos puedan graduarse y no solo aceptarse o rechazarse
  • HANDLER, RS232, RS485 y USB host en todos los modelos, de modo que el instrumento puede alimentar una línea o un archivo de estadística sin opción adicional
  • Un cuerpo de 4,3 pulgadas y 4 kg en el modelo compacto, suficientemente pequeño para situarse junto a un soporte de sondas sin necesitar un banco propio

Especificaciones técnicas

Todos los valores siguientes proceden de la documentación de origen. Cuando un parámetro no figura en el material disponible, se marca como información requerida en lugar de estimarse.

Medición
Parámetro de mediciónResistencia, resistencia laminar, resistividad y conductividadEstándar
Principio de mediciónCuatro puntas alineadas; el par exterior lleva la corriente y el par interior detecta la tensiónEstándar
Rango de resistencia por modeloDe 100 µΩ a 100 kΩ; de 10 µΩ a 1 MΩ; de 1 µΩ a 20 kΩ; de 1 µΩ a 100 MΩEstándar
Rango de resistencia, un modelo en su fichaDe 1 µΩ a 500 MΩ, frente a de 1 µΩ a 100 MΩ en la tabla de parámetrosInformación requerida
Corriente de ensayo≤10 mA; ≤100 mA; ≤500 mA; ≤500 mAEstándar
Exactitud de resistencia0,05 % en el centro del rango; 0,2 % a 20 mΩ o por debajo; 0,2 % o 0,5 % en el extremo superior, según el modeloEstándar
Exactitud de resistencia laminar3 % en tres modelos; 4 % en el modelo de baja resistencia; 5 % por encima de 2 MΩ en el modelo amplioEstándar
Modo de mediciónMedición eléctrica simple o dual, con el modo dual corrigiendo la deriva de las puntas y los efectos de bordeOpcional
Magnitudes mostradasResistencia, resistencia laminar, resistividad, conductividad, resultado de clasificación y temperatura a la vezEstándar
Muestra y puntas
Introducción de espesorEl espesor de la muestra se preajusta antes del ensayo, de modo que la resistividad no necesita una consulta aparteEstándar
Soporte de sondasSoporte de cuatro puntas SJ26301, mesa de 200 × 200 mm, cuerpo de aluminio, para los cabezales fijosOpcional
Cabezal de 1 mm de carburo de tungstenoSJ26500, para obleas semiconductoras y de silicio y otros materiales durosOpcional
Cabezal de 2 mm de cobre berilioSJ26501, para metales, películas, paneles fotovoltaicos y grafitoOpcional
Cabezal de 1 mm de cobre berilioSJ26501-1, para muestras más pequeñas de metal, película, fotovoltaica y grafitoOpcional
Cabezal de 2 mm de goma conductoraSJ26501S, para películas frágiles, con punta flexible de gomaOpcional
Cabezal de 4 mm de cobre berilioSJ26505, para muestras más grandes de metal, película, fotovoltaica y grafitoOpcional
Temperatura, clasificación y datos
Medición de temperaturaDe −10 a 99,9 °C, 0,1 °C, en los cuatro modelosEstándar
Medición de humedadDe 0 a 100 % de humedad relativa, ±1,5 %, en tres modelos; no incorporada en el modelo compactoOpcional
Compensación de temperaturaIncorporada, para materiales sensibles a la temperaturaEstándar
ComparadorTres niveles con límites absolutos; límites porcentuales frente a un valor nominal en tres modelosEstándar
Avisador acústicoAprobado, rechazado o desactivado; lámpara verde de aprobado y roja de rechazadoEstándar
Configuraciones almacenadasNinguna en el modelo compacto; 5 grupos en uno; 10 grupos en dosEstándar
Interfaces, cuerpo y alimentación
InterfacesHANDLER, RS232, RS485, USB host y USB device en los cuatro modelosEstándar
USB hostMemoria USB para resultados y para actualizar el firmwareEstándar
Normas de referenciaGB/T 1551-2009 y GB/T 1552-1995Estándar
Red198 a 242 V CA, 47 a 63 HzEstándar
Cuerpo, modelo compacto264 × 107 × 361 mm, unos 4 kg, visualizador de 4,3 pulgadasEstándar
Cuerpo, otros modelos350 × 130 × 400 mm, unos 8 kg, visualizador de 7 pulgadasEstándar
Entorno de funcionamientoNo indicado en el materialInformación requerida

Modelos disponibles

Tabla de selección
Modelo Configuración Rangos principales Disponibilidad
SJ2663 Medidor compacto de cuatro puntas, visualizador de 4,3 pulgadas, modo de medición simple De 100 µΩ a 100 kΩ; corriente de ensayo ≤10 mA; resistencia laminar del 3 % Sin medición de humedad y sin configuraciones almacenadas; solo límites absolutos
SJ2665 Medidor de banco, visualizador de 7 pulgadas, modo de medición simple o dual De 10 µΩ a 1 MΩ; corriente de ensayo ≤100 mA; resistencia laminar del 3 % 5 configuraciones almacenadas; medición de humedad incorporada
SJ2667 Medidor de cuatro puntas de baja resistencia, modo de medición dual De 1 µΩ a 20 kΩ; corriente de ensayo ≤500 mA; resistencia laminar del 4 % Para películas y conductores de resistencia laminar baja
SJ2668 Medidor de cuatro puntas de rango amplio, modo de medición dual De 1 µΩ a 100 MΩ; corriente de ensayo ≤500 mA; resistencia laminar del 3 % hasta 2 MΩ y del 5 % por encima La ficha del modelo indica de 1 µΩ a 500 MΩ; la tabla de parámetros indica 100 MΩ

Personalización

  • Cabezal de sonda elegido según el material, desde carburo de tungsteno para obleas hasta goma conductora para películas frágiles
  • Soporte de sondas y disposición del utillaje según el tamaño de la muestra
  • Separación entre puntas de 1, 2 o 4 mm, fijada por el cabezal pedido

Certificación y cumplimiento

Documentos de certificación aún no facilitados

Las certificaciones solo se publican cuando puede presentarse una copia del certificado, por lo que esta sección está deliberadamente vacía en lugar de llenarse con homologaciones supuestas. Indíquenos qué homologaciones requiere su aplicación y confirmaremos cuáles están disponibles para este instrumento.

Parámetros pendientes de confirmar

Los datos siguientes son necesarios para una especificación completa, pero no figuran en la documentación que se nos ha facilitado. Se enumeran en lugar de estimarse:

  • Si el SJ2668 llega a 100 MΩ o a 500 MΩ, ya que la tabla de parámetros y la ficha del modelo difieren en un factor de cinco
  • El rango de tamaño de muestra que cubren los factores de corrección, no indicado en el material
  • La configuración de la salida de señal, en blanco en la tabla del comparador
  • Los límites del entorno de funcionamiento, en blanco en la tabla de parámetros
  • Si el coeficiente de compensación de temperatura lo introduce el usuario o es fijo por material
  • La disponibilidad del certificado de calibración, su intervalo y la norma de referencia
  • El periodo de garantía y sus condiciones
  • La presión de las puntas y la vida útil por desgaste de cada cabezal

Preguntas frecuentes

¿Cuál es la diferencia entre resistencia laminar y resistividad?

La resistencia laminar es una propiedad de una capa y tiene unidades de ohmios por cuadrado; no depende de lo ancha que sea el cuadrado, solo del material y de su espesor. La resistividad es una propiedad del material y tiene unidades de ohmio-metro. El instrumento mide la resistencia laminar directamente y calcula la resistividad multiplicándola por el espesor introducido para la muestra, y por eso el espesor tiene que ajustarse antes de que una lectura de resistividad signifique algo.

¿Por qué hay cuatro cabezales con separación y material de punta distintos?

La separación fija el volumen de material muestreado y el factor de corrección, y la punta fija qué puede soportar la sonda. El carburo de tungsteno a 1 mm es para obleas duras; el cobre berilio a 2 mm o 4 mm es para metales, películas y paneles fotovoltaicos; la punta de goma conductora es para capas tan delgadas que una aguja metálica las perforaría. Elegir mal la punta daña la muestra antes de que la lectura importe.

¿Cuándo hace falta el modo de medición dual?

Cuando la muestra es pequeña en relación con la separación entre puntas, o cuando las puntas han derivado entre mediciones. El modo dual mide con el camino de corriente invertido y combina los dos resultados, lo que cancela buena parte del desplazamiento debido al contacto de las puntas y al borde de la muestra. En un panel grande y uniforme el modo simple basta; en una probeta pequeña no.

¿Qué hay que confirmar antes de una cotización?

El material y su rango de espesor, ya que fijan el cabezal y si puede calcularse la resistividad; la ventana de resistencia laminar, que decide entre el modelo de baja resistencia y el de rango amplio; el tamaño de la muestra, que determina si hace falta un soporte y cuánta corrección de borde se aplica; y la salida que espera la línea, ya sea handler, serie o USB.

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Método de ensayo
Kelvin de cuatro terminales, señal de ensayo de CC
Rango más amplio del grupo
De 0,01 µΩ a 2,4 GΩ
Rango más estrecho del grupo
De 10 µΩ a 20 kΩ
Exactitud básica
De 0,006 % a 0,1 % en el grupo
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Comprobador de continuidad de protección de cuatro terminales con salida de 1 a 50 A en cuatro modelos, rangos de 0 a 600 mΩ, tiempo preajustable y alarma de límite superior.

Corriente de salida
5 a 32 A en el LK2678BX, 10 a 50 A en el LK2678, 3 a 32 A en el LK7305, 0,01 a 45 A en el LK7340
Rango de resistencia
0 a 200 mΩ o 0 a 600 mΩ en LK2678BX y LK2678; 0 a 510 mΩ en LK7305; 0 a 600 mΩ en LK7340
Exactitud de resistencia
±5 % en LK2678BX y LK2678; ±2 % en LK7305 y LK7340
Tiempo de ensayo
1 a 99 s en LK2678BX, 1 a 999 s en LK2678, 0,1 a 999,9 s en LK7305, 0 o 0,5 a 999,9 s en LK7340
Puente LCR de banco en una carcasa gris, con una pantalla LED de cinco dígitos que muestra una lectura principal y otra secundaria, cuatro terminales de prueba coaxiales en la parte inferior central del panel, una columna de teclas de rango y función a la derecha y el interruptor de encendido a la izquierda

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Puente LCR digital de banco

Puentes LCR de banco de frecuencia fija y de banda ancha, con exactitud básica de 0,10 % o 0,05 %, cinco terminales y clasificación por bins.

Frecuencias de ensayo
100 Hz, 120 Hz, 1 kHz y 10 kHz en los modelos generales; hasta 100 kHz en HG2817 y HG2817B; 8 puntos hasta 100 kHz en HG2817D; 37 puntos de 50 Hz a 200 kHz en HG2817A
Exactitud básica
0,10 % en los modelos generales; 0,05 % en HG2816A y HG2817A
Nivel de ensayo
0,3 V en HG2810B; 0,1 V, 0,3 V o 1,0 V en la mayoría de los demás modelos; 10 mV a 2,00 V en pasos de 10 mV en HG2816A y HG2817A
Rangos de visualización
L de 0,01 µH a 99999 H y C de 0,01 pF a 99999 µF en los modelos generales, con rangos más amplios en los modelos con LCD

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